破局晶圆制造厂AMHS瓶颈：弥费科技全新OHT系统实现效能和稳定性跃迁

电子科技网报导（文 / 吴子鹏） 正在半导体系体例制范畴，AMHS（主动物料搬运零碎）可谓保证消费效力、良率战工场波动性的中心根底设备。···